Organisches Silizium / Polysilizium

Anlagen in diesem Bereich werden zur Herstellung von Polysiliziummaterialien verwendet, die in der Solarenergie- und Halbleiterindustrie von entscheidender Bedeutung sind. Zur Herstellung von Polysilizium wird häufig die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) eingesetzt.

Mit Fluor ausgekleidete Ventile zeichnen sich in dieser Branche durch ihre Fähigkeit aus, mit allen Konzentrationen von Säuren, Basen, Salzen, Oxidationsmitteln, Reduktionsmitteln und organischen Lösungsmitteln umzugehen und so die sichere und effiziente Produktion von Polysilizium zu gewährleisten.