
Thiết bị trong lĩnh vực này được sử dụng để sản xuất vật liệu polysilicon, vật liệu quan trọng trong ngành năng lượng mặt trời và bán dẫn. Lắng đọng hơi hóa học (CVD) thường được sử dụng để sản xuất polysilicon.

Van lót flo nổi trội trong ngành này nhờ khả năng xử lý mọi nồng độ axit, bazơ, muối, chất oxy hóa, chất khử và dung môi hữu cơ, đảm bảo sản xuất polysilicon an toàn và hiệu quả.


