ซิลิคอนอินทรีย์ / โพลีซิลิคอน

อุปกรณ์ในสาขานี้ใช้ในการผลิตวัสดุโพลีซิลิคอน ซึ่งมีความสำคัญต่ออุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์และเซมิคอนดักเตอร์ การสะสมไอทางเคมี (CVD) มักใช้ในการผลิตโพลีซิลิคอน

วาล์วที่บุด้วยฟลูออรีนโดดเด่นในอุตสาหกรรมนี้เนื่องจากความสามารถในการจัดการกับกรด เบส เกลือ สารออกซิไดเซอร์ ตัวลด และตัวทำละลายอินทรีย์ในทุกความเข้มข้น ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการผลิตโพลีซิลิคอนอย่างปลอดภัยและมีประสิทธิภาพ