有機シリコン / ポリシリコン

この分野の装置は、太陽エネルギーや半導体産業で極めて重要なポリシリコン材料の製造に使用されます。ポリシリコンの製造には、化学蒸着法 (CVD) がよく使用されます。

フッ素ライニングバルブは、あらゆる濃度の酸、塩基、塩、酸化剤、還元剤、有機溶剤を処理できるため、この業界で優れた性能を発揮し、ポリシリコンの安全で効率的な生産を保証します。