Youfumi의 라이닝 밸브 솔루션으로 반도체 공정 최적화
반도체 제조
유후미의 라이닝 밸브는 전용 사출 성형기와 클래스 100000 작업장에서 라이닝을 사용하여 매우 깨끗한 불소 재료로 라이닝됩니다.
당사 제품에는 라이닝 볼 밸브, 라이닝 버터플라이 밸브, 라이닝 게이트 밸브, 라이닝 체크 밸브 등이 있습니다.
반도체 산업의 하이엔드 사용자의 요구를 충족시키기 위해 다양한 직경, 압력 및 재료 옵션을 제공합니다.
역삼투압(RO) 응용 분야
반도체 제조 공장은 웨이퍼 처리 및 시설 관리를 위해 매일 수백만 갤런의 물을 소비합니다. 역삼투압(RO) 기술은 부유 고형물과 유기 화합물을 제거하여 고순도의 물을 생산하는 데 필수적입니다.
YOUFUMI 라이닝 밸브 및 피팅 다음을 포함한 RO 시스템에서 뛰어난 내화학성과 무누출 성능을 제공합니다.
- 공정 냉각수(PCW)
- RO 전처리 및 여과
- 산 및 알칼리 투여 스키드
- 폐수 회수 시스템
- 유틸리티 수도 제어 패널
YOUFUMI의 PTFE/PFA 라이닝 볼, 플러그 및 체크 밸브는 HCl 및 H₂SO₄와 같은 산으로 인한 부식을 방지하여 지속적인 RO 작동에서 긴 수명과 안전성을 보장합니다.
초순수(UPW) 시스템
반도체 노드가 10nm 이하로 미세화됨에 따라, 입자 오염을 방지하고 웨이퍼 수율을 유지하기 위해 초순수가 필수적입니다. 초순수(UPW) 시스템은 SEMI F63 및 F104 표준을 충족하기 위해 초순수 배관과 밸브를 사용합니다.
YOUFUMI 라이닝 밸브 다음에 이상적입니다:
- UPW 연마 시스템
- 웨이퍼 린싱 및 표면 컨디셔닝
- 습식 에칭 및 용매 공정
- 화학적 기계적 평탄화(CMP)
- UPW 재순환 및 저장
UPW 서비스에 사용되는 모든 YOUFUMI 밸브는 깨끗한 환경에서 제조되고, 추출물에 대한 테스트를 거치며, 순도를 유지하기 위해 포장됩니다.
탈이온수(DI Water) 분배
탈이온수는 웨이퍼 세척 및 공구 헹굼에 널리 사용됩니다. 탈이온수에는 미네랄 이온과 금속 잔여물이 전혀 없어야 합니다. 300mm 웨이퍼 한 장에는 6,000갤런(약 2,700리터) 이상의 탈이온수가 필요할 수 있습니다.
유후미의 라이닝 버터플라이 및 다이어프램 밸브 제공하다:
- 저압 강하 흐름
- 비침출성 불소폴리머 라이닝
- 이온 교환 스키드 및 DIW 루프의 버블 밀폐 차단
부식 방지 밸브는 저항성을 유지하고 DIW 회로에서 금속 오염이 발생하지 않도록 보장합니다.
물 회수 및 유출수 처리
초순수(UPW) 또는 탈이온수(DI)를 에칭, 세정 또는 CMP 공정에 사용하면 피라졸, 피라냐산, 금속 이온, 산화제와 같은 독성 잔류물이 발생합니다. 이러한 물을 처리하고 재활용하는 것은 팹의 지속가능성에 필수적입니다.
YOUFUMI는 다음에 대한 부식 방지 솔루션을 제공합니다.
- 산 중화 시스템
- 중금속 제거 스키드
- 유출수 수집 탱크
- 스크러버 시스템
- 배출 밸브 매니폴드
YOUFUMI의 라이닝 게이트 및 체크 밸브는 최소한의 유지관리로 산성 환경에서도 장기적인 안정성을 제공합니다.
성능 인증. 전 세계적으로 신뢰받는 제품.
원자재 검사부터 최종 제품 납품까지 모든 생산 단계는 ISO 및 CE와 같은 국제적으로 인정된 표준을 엄격히 준수합니다. 완벽하게 문서화된 품질 관리 시스템은 일관성, 신뢰성 및 규정 준수를 보장하여 당사가 제공하는 모든 라이닝 밸브 솔루션에 대한 완벽한 신뢰를 제공합니다.

















탁월한 밸브 무결성을 위한 ISO 인증 클린룸 솔루션
클린룸 밸브 서비스
요푸미는 제품 성능이 내식성 및 낮은 이온 침전에 대한 품질 요구 사항을 충족하도록 PPB 등급 및 PPT 등급 PTFE 라이닝의 무진공 작업장, 초순수 생산 작업장, 고순도 질소 제조 작업장을 구축하여 반도체 산업 제품 생산에 대한 사용자 요구 사항을 충족하는 제품을 제공합니다.
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반도체 산업
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